Refrigeratori industriali LNEYA Produttore Fornitore
Refrigeratori multicanale della serie FLTZ a frequenza variabile
APPLICAZIONI
Semiconductor air cooling & water cooling Chiller is mainly used for precise temperature control in semiconductor production and testing. Products include fluid fluorinated liquid temperature control (minimum -100 degrees), gas hot and cold rapid temperature change, rapid temperature change chuck, low temperature gas refrigerator (-120 degrees), direct cooling refrigeration unit (-150 degrees), etc. The company applies a variety of algorithms (PID, feedforward PID, model-free self-building algorithm) in the system to achieve fast system response and high control accuracy.
Parametri del prodotto
FLTZ -20℃～+90℃
| Modello | FLTZ-203W-2T | |
| Pipeline | channel 1 | channel 2 |
| Intervallo di temperatura | -20℃～+90℃ | -20℃～+90℃ |
| Capacità di raffreddamento | 4kW@-10℃ | 4kW@-10℃ |
| Capacità di riscaldamento | 2kW | 2kW |
| Heat conducting medium flow rate | 20L/min@0.5MPa | 20L/min@0.5MPa |
| Heat conducting medium connection size | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Ambient temperature | 10～35℃ | 10～35℃ |
| Ambient humidity | 30～70% | 30～70% |
| Cooling water flow rate | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Temperatura dell'acqua di raffreddamento | 20L/min | 20L/min |
| Interruttore automatico | 30A | |
| Peso | 400 kg | |
| Dimensioni cm | 500*900*1600 | |
FLTZ -45℃～+40℃
| Modello | FLTZ-406W/ETCU-015W | |
| Pipeline | channel 1 | channel 2 |
| Intervallo di temperatura | -45℃～+40℃ | +10℃～+80℃ |
| Capacità di raffreddamento | 11kW@-20℃ 5kW@-40℃ |
13kW@+10℃ |
| Capacità di riscaldamento | 2kW | 6kW |
| Heat conducting medium flow rate | 17L/min@0.7MPa | 17L/min@0.7MPa |
| Heat conducting medium connection size | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Ambient temperature | 10～35℃ | 10～35℃ |
| Ambient humidity | 30～70% | 30～70% |
| Cooling water flow rate | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Temperatura dell'acqua di raffreddamento | 40L/min | 20L/min |
| Interruttore automatico | 80A | |
| Peso | 550kg | |
| Dimensioni cm | 600*1000*1850 | |
FLTZ -10℃～+80℃
| Modello | FLTZ-203W/ETCU-008W | ||
| Pipeline | channel 1 | channel 2 | channel 3 |
| Intervallo di temperatura | -10℃～+60℃ | +30℃～+80℃ | -10℃～+80℃ |
| Capacità di raffreddamento | 4kW@-10℃/21kW@+20℃ | 6 kW@+30℃ | 3kW@-10℃ |
| Capacità di riscaldamento | 4kW | 4.5+6kW | 3kW |
| Heat conducting medium flow rate | 17L/min@0.7MPa | 17L/min@0.7MPa | 17L/min@0.7MPa |
| Heat conducting medium connection size | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Ambient temperature | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| Ambient humidity | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| Cooling water flow rate | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Temperatura dell'acqua di raffreddamento | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| Interruttore automatico | 100A | ||
| Peso | 600kg | ||
| Dimensioni cm | 600*1000*1700 | ||
FLTZ -20℃～+50℃
| Modello | FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W | ||
| Pipeline | channel 1 | channel 2 | channel 3 |
| Intervallo di temperatura | -20℃～+50℃ | +30℃～+100℃ | +30℃～+40℃ |
| Capacità di raffreddamento | 15kW@-10℃ | 13kW@PCW+15℃ | 8kW@PCW+10℃ |
| Capacità di riscaldamento | 2kW | 6kW | Pump Heat Loss |
| Heat conducting medium flow rate | 30L/min@0.85MPa | 30L/min@0.85MPa | 20L/min@0.8MPa |
| Heat conducting medium connection size | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Ambient temperature | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| Ambient humidity | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| Cooling water flow rate | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Temperatura dell'acqua di raffreddamento | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| Interruttore automatico | 75A | ||
| Peso | 600kg | ||
| Dimensioni cm | 600*1000*1700 | ||
FLTZ -45℃~90℃
| Modello | FLTZ-203W/2T dual system | FLTZ-305W/2T dual system | FLTZ-406W/2T dual system | |||
| Intervallo di temperatura | -20℃~90℃ | -30℃~90℃ | -45℃~90℃ | |||
| Heat conducting medium flow rate | 15~45l/min 6bar max | |||||
| Capacità di riscaldamento | 2,5kW | 2,5kW | 2,5kW | 2,5kW | 3,5kW | 3,5kW |
| Capacità di raffreddamento | 3kW at-15℃ | 3kW at-15℃ | 5kW at-15℃ | 5kW at-15℃ | 2.5kW at -35℃ | 2.5kW at -35℃ |
| Volume del fluido di circolazione interno | 5L | 5L | 8L | 8L | 8L | 8L |
| Volume del vaso di espansione | 15L | 25L | 25L | |||
| Heat-conducting medium | Fluorinated liquid, antifreeze, thermal conductive silicone oil, etc | |||||
| Refrigerante | R404A/ R448 | |||||
| Heat-conducting medium interface | ZG3/4 | |||||
| Interfaccia acqua di raffreddamento | ZG3/4 | |||||
| Interfaccia acqua di raffreddamento | 50L/min at20℃ | 600L/min at20℃ | 50L/min at20℃ | |||
| Potenza | Three phase 220V/Three phase 400V/Three phase 460V | |||||
Vantaggi del prodotto
- Risultati efficienti in termini di stabilità e ripetibilità della produzione;
- Utilizzo di scambiatori di calore a piastre e riscaldatori in tubazione per migliorare i tassi di raffreddamento e riscaldamento;
- Intervallo di temperatura molto ampio, senza necessità di sostituire il mezzo liquido;
- Sistema completamente chiuso, che prolunga la durata dei liquidi termoconduttivi;
- Adottando una pompa a trascinamento magnetico, non vi è alcun problema di perdita della tenuta dell'albero;
- Tecnologia di raffreddamento ad alta temperatura, avvia direttamente il compressore per raffreddarsi a 300 ℃.
La pompa a frequenza variabile può regolare la pressione e la portata idraulica in circolazione
segnale di uscita del cliente
Funzione di comunicazione
APPLICAZIONI
Unità di controllo della temperatura del processo FAB dei semiconduttori
La produzione di semiconduttori è un processo con requisiti ambientali estremamente elevati e molte fasi del processo sono molto sensibili alla temperatura.
Il controllo preciso della temperatura può garantire uno spessore uniforme e una composizione accurata dei film depositati, migliorando così le prestazioni e la resa dei chip.
per il processo di confezionamento e collaudo dei semiconduttori
Il processo di confezionamento e collaudo dei semiconduttori è un anello fondamentale del processo di produzione dei semiconduttori, che comprende il collaudo dei wafer, il confezionamento dei chip e il collaudo post-confezionamento. Questo processo richiede non solo alta precisione e affidabilità, ma anche un rigoroso controllo della temperatura per garantire la qualità e le prestazioni del prodotto.
Come i refrigeratori che controllano la temperatura di lavorazione delle apparecchiature Fab.
Raffreddamento dei sensori CMOS/CCD nei sistemi di metrologia dei semiconduttori.
Refrigeratore a ricircolo per il sistema AOI di misurazione dei semiconduttori.
Raffreddatore a canale singolo raffreddato ad aria, progettato principalmente per le macchine di incisione. Viene utilizzato per fornire un controllo indipendente della temperatura delle pareti laterali della camera.
Utilizzato per incisione e deposizione di smussi al plasma; incisione termica di strati atomici di tungsteno metallico.
LNEYA fornisce servizi personalizzati di refrigerazione
dimensioni personalizzate dei refrigeratori
Che si tratti di refrigeratori portatili, compatti, grandi o piccoli, possiamo progettarli su misura in base alle vostre esigenze. Indipendentemente dal numero di tonnellate di refrigeratori di cui avete bisogno, possiamo creare la soluzione migliore.
tipi di refrigeratori personalizzati
Forniamo refrigeratori di vari tipi di refrigerazione, tra cui, ma non solo, refrigeratori raffreddati ad aria, ad acqua e a condensazione evaporativa. Indipendentemente dal tipo di compressore di refrigerazione, possiamo progettarlo in base alle vostre esigenze.
intervalli di temperatura personalizzati
Possiamo creare una soluzione personalizzata per temperature da -150℃ a +350℃. Intervalli di temperatura personalizzati per settori specifici.
tensione del refrigeratore personalizzata
Personalizzare la tensione e la fase del refrigeratore in base alle proprie esigenze. Opzionale 110V/60HZ, 220V/60HZ, 380V/50HZ, 220V/50HZ, 400V/50HZ, 460V/60HZ, 440V~480V/60HZ, ecc.
Visita la fabbrica LNEYA
Perché scegliere lneya come fornitore di controllo della temperatura?
Anni di esperienza
Clienti soddisfatti
m² Area di produzione
Tecnologie brevettate
contattateci
Inviateci la vostra richiesta e vi contatteremo entro 24 ore.
